【图文导读】图1所示为利用Ar/O2混合等离子体与甲酸(Formicacid,FA)设计出的Ar/O2→甲酸和甲酸→Ar/O2两种表面协同活化方案，福建以及基于该工艺实现的同质（Cu-Cu、福建SiO2-SiO2）及Cu/SiO2混合键合。
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